特種氣體的研究開發(fā)與工業(yè)化生產(chǎn)是隨著電子工業(yè)尤其是集成電路技術的發(fā)展而發(fā)展起來的，特種氣體是工業(yè)氣體中的一個新類系，它是世界上工業(yè)發(fā)達國家為適應近年來國防工業(yè)、科學研究、自動化技術、精密檢測．特別是微電子技術的發(fā)展需要應運而生的。特種氣體主要包括高純氣、電子氣、標準氣以及新近發(fā)展起來的醫(yī)療氣、校正氣和零點氣等。
     目前．特種氣體的應用領域及需求量正逐步擴大．品種日增，據(jù)不完全統(tǒng)計，現(xiàn)有單元特種氣體己達260個品種，按氣體可混性，又可配制成25000多種混合氣，成為高科技領域及其它科學研究與技術應用領域不可缺少的基本原材料。
     最近幾年來，特種氣體的研究與應用在我國得到了從無到有的長足發(fā)展，特種氣體在國民經(jīng)濟中的應用越來越廣，研究開發(fā)新品種氣體正得到自上而下的普遍關注，一些常用特種氣體己基本擺脫單純依賴進口的被動局面，不但為國家節(jié)省了大量外匯，也為發(fā)展我國自己的電子工業(yè)作出了巨大貢獻。但不可忽視的是，我國特種氣體的研究應用仍大大落后于發(fā)達國家，有相當數(shù)量的特種氣體需要進口，僅1987年進口的電子氣即耗資308萬元。因此，很有必要在我國形成一個特種氣體及其配套器件研究開發(fā)、生產(chǎn)、供應一條龍的新格局，所謂“第三次浪翻”是以高科技的迅猛發(fā)展為龍頭的。如果沒有一個強有力的特種氣體工業(yè)作后盾，我國電子工業(yè)國產(chǎn)化進程將舉步維艱，最終會拖了四個現(xiàn)代化建設的后腿。所以，全面發(fā)展和建立起我國自己的特種氣體工業(yè)，以徹底改變依賴進口的被動局面具有重要的戰(zhàn)略意義。
    “六五”、“七五”期間，全國已有9家研究單位和生產(chǎn)廠家致力于特種氣體的開發(fā)應用，在35個最常用品種的特種氣體中，國內(nèi)可提供的巳近30種，如高純氫、氮、氧、硅烷、磷烷、二氯氫硅、高純氨、高純氯化氫等，這些氣體在大規(guī)模集成電路(LSI)和超大規(guī)模集成電路(VlSI)制造的近百道工序中，主要用于其中的13道重要工序，如晶體生長、熱氧化、外延、擴散等離子蝕刻等。在使用過程中，特種氣體的純度直接影響到集成電路塊的質(zhì)量和成品率，因此，作為電子工業(yè)最基本的原材料，特種氣體應受到相當程度的重視。在標準氣應用方面主要有兩大類。一是石油、化工、冶金等行業(yè)用標準氣，我國有遼陽化纖、大慶石化、燕山石化、首鋼、寶鋼等大型企業(yè)30多家，年需各種標準氣60多種，近2萬瓶，而我國可提供的僅是其中的20余種常用氣體幾千瓶，遠遠不能滿足國內(nèi)市場的需求，有相當一部分依賴于進口；二是環(huán)境監(jiān)測用標準氣，主要用于大氣污染和汽車尾氣的監(jiān)測，目前只有中國計量科學研究院標準物質(zhì)所可提供少量CO／N2、CH4／N2、SO2／N2等十余種標準混合氣，絕大部分需要進口。標準氣的開發(fā)應用在我國特種氣體行業(yè)中是一個弱項，需要花大氣力來彌補。目前，北京氧氣廠特氣所、西南化工研究院和化工部光明化工研究所已著手這方面的研究工作。另外，其它特種應用混合氣基本依賴進口，而國內(nèi)市場又很大，如電光源用各種混合氣、焊接用混合氣、醫(yī)療氣、激光用氣、光纖用氣、食品保鮮用混合氣等，都亟待研究開發(fā)。
     以上簡述了我國特種氣體研究開發(fā)的概況，而從我國電子工業(yè)及其它科研、工業(yè)部門目前的現(xiàn)狀與發(fā)展來看，特種氣體的應用具有非常廣闊的前景。僅就電子工業(yè)而言，在近5年內(nèi)，特種氣體量翻了兩番，所使用的品種擴大了近一倍。據(jù)有關部門提供的資料表明，進入80年代后，電子氣、光纖氣、標準氣等的用量將進一步成倍增長，使用的品種也將進一步擴大，這就為特種氣體的發(fā)展提供了一個良好的契機。應該在大力發(fā)展電子工業(yè)、光纖通訊事業(yè)等等的同時，同步加強特種氣體的研究開發(fā)工作，努力縮小與發(fā)達國家的差距。特種氣體的國產(chǎn)化是我國電子工業(yè)國產(chǎn)化的第一步，這一步邁得好不好，直接關系到我國電子工業(yè)等高技術部門的發(fā)展。
      但是，我國特種氣體的發(fā)展似乎并不盡人意。由于特種氣體一般都具有易燃、易爆、毒性大、腐蝕性強的特點，研究工作存在較大困難，使得我國特種氣體的開發(fā)相對緩慢。從目前的情況看，存在的問題主要有兩個：
    1、較易開發(fā)的氣品種出現(xiàn)重復開發(fā)的現(xiàn)象，而一些毒性大、腐蝕性強又很急需的氣體，如硼烷、砷烷、二氯氫硅、六氫化鎢、三氫化氮等，沒有得到應有的重視，就相對分散了人力、財力，造成一些不必要的浪費，我們應該在宏觀管理上，注意協(xié)調(diào)各方關系，從長遠利益出發(fā)，重點項目協(xié)同攻關，并重視利用正在逐步建立健全的技術市場。
    2 、配套器件的研制開發(fā)大大落后于特種氣體的研究進展，影響了高純氣體的使用純度，如閥門、減壓器及氣瓶等。目前，國內(nèi)半導體廠所使用的閥門、減壓器不得不絕大部分從美國和日本進口，而鋼瓶柜和吹洗系統(tǒng)則全部依賴進口，這一點尤其值得引起足夠的重視。如果不能解決配套器件的問題，特種氣體的研究和開發(fā)應用就會受到極大的影內(nèi)。